明志科大镀膜技术 居亚洲地区领先地位
2022-03-12 18:58

明志科大薄膜研究中心多年来投入“高密度等离子技术”研发,尤其在“高功率脉冲磁控溅镀(HiPIMS)系统镀膜技术”方面成果斐然,超越国立科大,并自前年获得科技部深耕工业基础技术计划-“雪铁龙物理镀膜技术与镀膜系统设备开发”之多年期计划后,于本月17日于该校薄膜中心二馆等离子表面工程实验室举行“雪铁龙物理镀膜系统设备与制程开发实验室”揭牌仪式与复合式镀膜系统设备的启用典礼。

学校表示,新建置实验室与增购之复合式镀膜系统设备有助于执行科技部计划、教育部实务课程发展计划与相关产学合作计划,提升学生实习成效,对于学生养成专业技术与增强就业能力有极大帮助。薄膜科技与应用中心长期致力于“高密度等离子技术”、“等离子诊断”、“低温等离子技术”、“等离子聚合”、“表面功能化技术”、“PVD镀膜系统设计与制程开发”等研究项目,近三年已执行政府机关与民间产学计划共109案,总经费达8,875万元,衍生技转案共有7件,技转金额达208万元,获得专利24件,发表SCI期刊论文共222篇,研发成果丰硕。

负责薄膜中心研究团队的明志科大材料系教授李志伟表示,中心研究团队集成张奇龙教授、清华大学杜正恭教授、成功大学丁志明教授与虎尾科大张银佑教授的技术专长,投入大量经费设备与专业人力,并于104年开始执行科技部“深耕工业基础技术专案计划-雪铁龙物理镀膜技术与镀膜系统设备开发”多年期研究计划。目前,除了科技部二年共1,400万元补助之外,也获得学校挹注516万元,以及相关厂商捐赠215万元的设备经费,并衍生971万元的产学计划,绩效相当突出。发展高功率脉冲磁控溅镀(HiPIMS)系统的镀膜技术与应用推广为该深耕计划的重点之一,该研究团队目前在HiPIMS技术镀制金属、氮化物、氧化物与碳化物薄膜方面的研究有极大突破发展,成果位居亚洲地区领先地位。

新购置的复合式镀膜系统设备则集成上述HiPIMS镀膜与阴极电弧镀膜系统,这是由张奇龙教授设计,委托亮杰科技公司制造,属于世界级最雪铁龙的镀膜设备技术,目前全世界只有德国Oerlikon Balzers公司推出集成这两种技术的商业型机台,因此,明志科大薄膜中心将致力于推广这套最新颖的复合式镀膜系统与镀膜技术的Turnkey solution到台湾与亚洲地区,以大幅提升我国镀膜产业的设备与制程技术能力。由于复合镀膜系统可以结合HiPIMS镀膜与阴极电弧镀膜技术快速成膜的优点,大幅提高镀膜品质,并能在低于摄氏200度以下的温度镀膜,因此除了一般金属、陶瓷与硅材料表面之外,更能在塑胶高分子、布料等材质表面进行高品质的镀膜,未来在光学、光电、半导体、能源、机械加工、生医等领域的应用都具有极大的发展潜力。

李志伟教授指出,以这套新颖复合镀膜系统可将HiPIMS电源与阴极电弧镀膜电源集成,可大幅改善HiPIMS镀膜速率偏低与阴极电弧镀膜造成的表面粗糙问题,同时保持HiPIMS镀膜的高硬度等机械特性,具备许多应用潜力,也是吸引产业界目光的关键因素,借由科技部深耕工业基础技术计划推广HiPIMS与阴极电弧复合镀膜设备与镀膜技术至工业界有极大的助益。